綠色流片是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢，中清航科積極推動流片過程的環(huán)保優(yōu)化，構(gòu)建綠色流片代理服務(wù)體系。在晶圓廠選擇上，優(yōu)先與通過 ISO14001 認(rèn)證的企業(yè)合作，這些晶圓廠在廢水處理、廢氣排放等方面達(dá)到嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在流片方案設(shè)計中，推薦采用低能耗工藝，如減少高溫工藝步驟、優(yōu)化光刻次數(shù)等，幫助客戶降低流片過程的碳排放。針對測試環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢晶圓，中清航科與專業(yè)回收企業(yè)合作，進(jìn)行材料回收再利用，晶圓回收率達(dá)到 90% 以上。定期為客戶提供流片碳足跡報告，分析各環(huán)節(jié)的碳排放情況，并提出優(yōu)化建議，助力客戶實現(xiàn)碳中和目標(biāo)。某汽車芯片客戶通過中清航科的綠色流片方案，流片過程的碳排放降低了 25%，滿足了整車廠的環(huán)保要求。中清航科量產(chǎn)轉(zhuǎn)流片服務(wù)，首萬片晶圓缺陷率＜200DPW。嘉興SMIC 65nm流片代理

未來流片技術(shù)將向更先進(jìn)制程、更高集成度發(fā)展，中清航科持續(xù)投入研發(fā)，構(gòu)建前瞻性的流片代理能力。在 3D IC 領(lǐng)域，與晶圓廠合作開發(fā) TSV 與混合鍵合流片方案，支持芯片堆疊的高精度對準(zhǔn)，已成功代理多個 3D 堆疊芯片的流片項目，鍵合良率達(dá)到 99% 以上。針對量子芯片等前沿領(lǐng)域，組建專項技術(shù)團(tuán)隊，研究適合量子比特的特殊流片工藝，與科研機(jī)構(gòu)合作推進(jìn)量子芯片的流片驗證。在智能制造方面，開發(fā) AI 驅(qū)動的流片參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng)，通過機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測工藝參數(shù)對芯片性能的影響，實現(xiàn)流片參數(shù)的自動優(yōu)化，目前該系統(tǒng)在成熟制程的測試中，可使良率提升 8% - 12%。通過持續(xù)創(chuàng)新，中清航科致力于為客戶提供面向未來的流片代理服務(wù)，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)突破與創(chuàng)新發(fā)展。TSMC MPW流片代理推薦廠家中清航科建立晶圓廠突發(fā)斷供72小時替代方案庫。

在芯片設(shè)計企業(yè)的研發(fā)周期不斷壓縮的當(dāng)下，快速流片成為搶占市場的關(guān)鍵。中清航科推出的 “極速流片通道”，針對 28nm 及以上成熟制程，可將傳統(tǒng) 12 周的流片周期縮短至 8 周，其中掩膜版制備環(huán)節(jié)通過與掩膜廠的聯(lián)合調(diào)度，實現(xiàn) 48 小時快速出片。同時配備專屬項目經(jīng)理全程跟進(jìn)，建立 7×24 小時進(jìn)度通報機(jī)制，讓客戶實時掌握流片各階段狀態(tài)，確保研發(fā)項目按時推進(jìn)。面對不同類型芯片的流片需求，中清航科提供定制化代理服務(wù)。針對車規(guī)級芯片，其建立了符合 AEC-Q100 標(biāo)準(zhǔn)的全流程管控體系，從晶圓廠選擇、工藝參數(shù)鎖定到可靠性測試，均嚴(yán)格遵循汽車電子質(zhì)量管理規(guī)范，已成功代理超過 50 款車規(guī) MCU 的流片項目。對于 AI 芯片等產(chǎn)品，則依托與先進(jìn)制程晶圓廠的合作優(yōu)勢，提供 CoWoS、InFO 等先進(jìn)封裝流片一站式服務(wù)。

中清航科建立了完善的流片代理服務(wù)知識庫，積累了超過 10 萬條流片工藝數(shù)據(jù)、問題解決方案與最佳實踐案例。該知識庫通過自然語言處理技術(shù)實現(xiàn)智能檢索，客戶與內(nèi)部員工可快速找到相關(guān)信息，如特定工藝節(jié)點的常見問題、相似產(chǎn)品的流片方案等。知識庫每月更新，納入較新的流片技術(shù)與行業(yè)動態(tài)，確保服務(wù)團(tuán)隊掌握前沿知識，為客戶提供專業(yè)支持，該知識庫已成為內(nèi)部培訓(xùn)與客戶服務(wù)的重要支撐。對于需要通過汽車供應(yīng)鏈認(rèn)證的客戶，中清航科提供全程認(rèn)證支持服務(wù)。協(xié)助客戶準(zhǔn)備 IATF16949 認(rèn)證所需的流片相關(guān)文件，包括工藝流程圖、FMEA 分析報告、控制計劃等；指導(dǎo)客戶進(jìn)行流片過程的過程能力分析（CPK），確保關(guān)鍵參數(shù)的 CPK 值達(dá)到 1.67 以上；在審核過程中，安排技術(shù)配合審核員的提問與驗證，幫助客戶順利通過認(rèn)證。去年幫助 25 家客戶完成汽車供應(yīng)鏈認(rèn)證，平均認(rèn)證周期縮短 30%。中清航科確保全流程符合RoHS/REACH法規(guī)，規(guī)避出口風(fēng)險。

流片過程的復(fù)雜性往往讓設(shè)計企業(yè)望而生畏，中清航科通過標(biāo)準(zhǔn)化流程再造，將流片環(huán)節(jié)拆解為 12 個關(guān)鍵節(jié)點，每個節(jié)點都配備專屬技術(shù)人員負(fù)責(zé)。在項目啟動階段，其 DFM 工程師會對客戶的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查，重點檢查光刻層對齊、金屬線寬等可制造性問題，平均能提前發(fā)現(xiàn) 80% 的潛在生產(chǎn)隱患。進(jìn)入晶圓廠生產(chǎn)階段，項目經(jīng)理會建立每日進(jìn)度通報機(jī)制，通過可視化平臺實時展示晶圓生產(chǎn)狀態(tài)，包括清洗、光刻、蝕刻等各工序的完成情況。針對突發(fā)狀況，中清航科建立了三級應(yīng)急響應(yīng)體系，普通問題 4 小時內(nèi)給出解決方案，重大問題 24 小時內(nèi)協(xié)調(diào)晶圓廠技術(shù)團(tuán)隊共同處理，去年流片項目的按時交付率達(dá)到 98.7%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。中清航科失效晶圓復(fù)投計劃，客戶承擔(dān)成本減少35%。TSMC MPW流片代理推薦廠家

流片進(jìn)度可視化平臺中清航科開發(fā)，實時追蹤晶圓廠在制狀態(tài)。嘉興SMIC 65nm流片代理

中清航科的流片代理服務(wù)注重可持續(xù)發(fā)展，在服務(wù)過程中推行綠色運營理念。鼓勵客戶采用可重復(fù)使用的晶圓包裝盒，減少一次性包裝材料的使用；與晶圓廠合作優(yōu)化生產(chǎn)工藝，減少流片過程中的能源消耗與廢水排放；在內(nèi)部推行無紙化辦公，每年減少紙張使用量 10 噸以上。通過這些措施，幫助客戶降低流片過程的環(huán)境影響，同時獲得綠色制造認(rèn)證提供支持，已有 30 余家客戶通過該服務(wù)滿足了 ESG 報告的相關(guān)要求。對于需要進(jìn)行小批量試產(chǎn)到大規(guī)模量產(chǎn)轉(zhuǎn)換的客戶，中清航科提供平滑過渡服務(wù)。其產(chǎn)能規(guī)劃團(tuán)隊會根據(jù)客戶的市場需求預(yù)測，制定階梯式量產(chǎn)計劃，從每月 100 片到每月 10 萬片的產(chǎn)能提升過程中，確保工藝參數(shù)的穩(wěn)定性與產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。通過與晶圓廠簽訂彈性產(chǎn)能協(xié)議，實現(xiàn)產(chǎn)能的快速調(diào)整，滿足客戶的市場需求波動，某消費電子芯片客戶通過該服務(wù)，在 3 個月內(nèi)完成了從試產(chǎn)到月產(chǎn) 50 萬片的產(chǎn)能爬坡。嘉興SMIC 65nm流片代理