生產(chǎn)效率高:
鍍膜速度快:真空鍍膜機(jī)的鍍膜速度相對(duì)較快,能夠在較短的時(shí)間內(nèi)完成大面積、大批量的工件鍍膜,提高生產(chǎn)效率。例如在大規(guī)模生產(chǎn)電子產(chǎn)品外殼的鍍膜過(guò)程中,真空鍍膜機(jī)可以快速地完成表面裝飾性鍍膜或功能性鍍膜,滿(mǎn)足市場(chǎng)的大量需求。
自動(dòng)化程度高:現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)通常配備了先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)鍍膜過(guò)程的自動(dòng)化操作,包括工件的裝卸、真空系統(tǒng)的控制、鍍膜參數(shù)的調(diào)節(jié)等,減少了人工干預(yù),降低了勞動(dòng)強(qiáng)度和生產(chǎn)成本,同時(shí)提高了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。 真空鍍膜機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域用于制備芯片的金屬互連層。江蘇車(chē)燈硅油真空鍍膜機(jī)工廠(chǎng)直銷(xiāo)
建筑玻璃:陽(yáng)光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等建筑玻璃,都可以通過(guò)真空鍍膜技術(shù)來(lái)制備。低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)是這類(lèi)應(yīng)用的常用設(shè)備。
太陽(yáng)能利用:在太陽(yáng)能利用領(lǐng)域,真空鍍膜機(jī)可用于太陽(yáng)能集熱管、太陽(yáng)能電池等的制造。磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線(xiàn)是這類(lèi)應(yīng)用的常用設(shè)備。
集成電路制造:在集成電路制造中,真空鍍膜技術(shù)可用于制備薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等元件。PECVD磁控生產(chǎn)線(xiàn)是這類(lèi)應(yīng)用的常用設(shè)備。
信息顯示:液晶屏、等離子屏等顯示器件的制造中,也采用真空鍍膜技術(shù)。AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)是這類(lèi)應(yīng)用的常用設(shè)備。 江蘇車(chē)燈硅油真空鍍膜機(jī)工廠(chǎng)直銷(xiāo)磁控濺射型鍍膜機(jī)利用離子轟擊靶材,適用于硬質(zhì)涂層制備。
蒸發(fā)鍍膜原理:
氣相沉積 - PVD 的一種)蒸發(fā)鍍膜是真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)的工作方式之一。在蒸發(fā)源(如電阻加熱蒸發(fā)源、電子束加熱蒸發(fā)源等)中放置鍍膜材料。以電阻加熱蒸發(fā)源為例,當(dāng)電流通過(guò)高電阻的加熱絲(如鎢絲)時(shí),加熱絲會(huì)產(chǎn)生熱量。如果將鍍膜材料放置在加熱絲上或加熱絲附近,鍍膜材料會(huì)吸收熱量,當(dāng)達(dá)到其熔點(diǎn)和沸點(diǎn)時(shí),就會(huì)從固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。例如,在鍍金屬薄膜(如鋁膜)時(shí),鋁的熔點(diǎn)為 660℃左右。當(dāng)加熱絲使鋁材料溫度升高到沸點(diǎn)后,鋁原子會(huì)以蒸汽的形式逸出。這些氣態(tài)的鋁原子在真空環(huán)境下,以直線(xiàn)的方式向各個(gè)方向擴(kuò)散,當(dāng)碰到基底(如玻璃、塑料等)表面時(shí),由于基底表面的溫度較低,鋁原子會(huì)在基底表面凝結(jié),并且逐漸堆積形成一層連續(xù)的薄膜。
濺射鍍膜機(jī):
原理與構(gòu)造:濺射鍍膜機(jī)借助離子束轟擊靶材,使靶材原子或分子濺射出來(lái),在工件表面沉積成膜。設(shè)備包含真空室、濺射靶、離子源和真空系統(tǒng)。依據(jù)離子源產(chǎn)生方式與工作原理,可分為直流濺射鍍膜機(jī)、射頻濺射鍍膜機(jī)和磁控濺射鍍膜機(jī)。直流濺射適用于導(dǎo)電靶材鍍膜;射頻濺射能對(duì)絕緣靶材進(jìn)行鍍膜;磁控濺射則通過(guò)引入磁場(chǎng),提高濺射效率,是目前應(yīng)用多樣的濺射鍍膜方式。應(yīng)用場(chǎng)景在半導(dǎo)體制造中,濺射鍍膜機(jī)用于為芯片鍍制金屬電極、阻擋層等薄膜,滿(mǎn)足芯片的性能要求。在平板顯示器制造領(lǐng)域,為玻璃基板鍍制透明導(dǎo)電膜,實(shí)現(xiàn)屏幕的觸摸控制與顯示功能。 真空鍍膜技術(shù)能賦予產(chǎn)品導(dǎo)電、隔熱、抗反射等多樣化性能。
開(kāi)機(jī)操作過(guò)程中的注意事項(xiàng):
按照正確順序開(kāi)機(jī):嚴(yán)格按照設(shè)備制造商提供的開(kāi)機(jī)操作流程進(jìn)行開(kāi)機(jī)。通常先開(kāi)啟總電源,然后依次開(kāi)啟冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。例如,在開(kāi)啟真空系統(tǒng)時(shí),要等待真空泵預(yù)熱完成后再啟動(dòng)抽氣程序,避免真空泵在未預(yù)熱的情況下強(qiáng)行工作,減少泵的損耗。
緩慢升壓和升溫:在啟動(dòng)真空系統(tǒng)后,抽氣過(guò)程要緩慢進(jìn)行,避免過(guò)快地降低真空室壓力,對(duì)真空室壁造成過(guò)大的壓力差。對(duì)于有加熱裝置的鍍膜設(shè)備,如蒸發(fā)鍍膜機(jī)中的蒸發(fā)源加熱,升溫過(guò)程也要緩慢。過(guò)快的升溫可能導(dǎo)致蒸發(fā)源材料的不均勻受熱,縮短蒸發(fā)源的使用壽命,同時(shí)也可能損壞加熱元件。 設(shè)備運(yùn)行時(shí)腔體真空度可達(dá)10?? Pa,確保薄膜純凈無(wú)雜質(zhì)污染。增加硬度真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠(chǎng)家
真空鍍膜機(jī)支持多層膜結(jié)構(gòu)制備,如增透膜、防水防污涂層。江蘇車(chē)燈硅油真空鍍膜機(jī)工廠(chǎng)直銷(xiāo)
鍍膜材料:不同鍍膜材料需不同的鍍膜機(jī)制。如鍍金屬常用蒸發(fā)鍍膜或?yàn)R射鍍膜,鍍陶瓷等化合物可能需離子鍍膜或化學(xué)氣相沉積。要根據(jù)所需鍍膜材料選擇能兼容的設(shè)備?;w類(lèi)型與尺寸:設(shè)備應(yīng)能容納和適配待鍍膜的基體。對(duì)于大尺寸的玻璃基板或大面積的金屬板材,需選擇有足夠鍍膜室空間和合適工裝夾具的設(shè)備;對(duì)于形狀復(fù)雜的基體,要考慮設(shè)備的鍍膜均勻性和覆蓋性。生產(chǎn)規(guī)模:若為大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn),需選擇自動(dòng)化程度高、產(chǎn)能大、能連續(xù)運(yùn)行的設(shè)備,如配備自動(dòng)上下料系統(tǒng)、多靶材濺射或多源蒸發(fā)的鍍膜機(jī);對(duì)于小批量、研發(fā)性質(zhì)的生產(chǎn),可選擇小型、靈活、操作簡(jiǎn)便的設(shè)備。江蘇車(chē)燈硅油真空鍍膜機(jī)工廠(chǎng)直銷(xiāo)