RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進(jìn)的鎖相熱成像（Lock-In Thermography）技術(shù)，這是一種通過(guò)調(diào)制電信號(hào)來(lái)大幅提升特征分辨率與檢測(cè)靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測(cè)中，由于背景噪聲和熱擴(kuò)散等因素的影響，往往難以精確檢測(cè)到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術(shù)通過(guò)對(duì)目標(biāo)物體施加特定頻率的電激勵(lì)，使目標(biāo)物體產(chǎn)生與激勵(lì)頻率相同的熱響應(yīng)，然后通過(guò)鎖相放大器對(duì)熱響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，只提取與激勵(lì)頻率相關(guān)的熱信號(hào)，從而有效地抑制了背景噪聲，極大地提高了檢測(cè)的靈敏度和分辨率。 高靈敏度鎖相熱成像技術(shù)能夠檢測(cè)到極微小的熱信號(hào)，可檢測(cè)低至uA級(jí)漏電流或微短路缺陷。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用戶體驗(yàn)

蘇州致晟光電科技有限公司自主研發(fā)的RTTLIT （實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)），該技術(shù)的溫度靈敏度極高，部分型號(hào)甚至可達(dá) 0.0001℃，功率檢測(cè)限低至 1μW。這意味著它能夠捕捉到極其微弱的熱信號(hào)變化，哪怕是芯片內(nèi)部極為微小的漏電或局部發(fā)熱缺陷都難以遁形。這種高靈敏度檢測(cè)能力在半導(dǎo)體器件、晶圓、集成電路等對(duì)精度要求極高的領(lǐng)域中具有無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)，能夠幫助工程師快速、準(zhǔn)確地定位故障點(diǎn)，較大程度上的縮短了產(chǎn)品研發(fā)和故障排查的時(shí)間。缺陷定位鎖相紅外熱成像系統(tǒng)平臺(tái)電激勵(lì)作為一種能量輸入方式，能激發(fā)物體內(nèi)部熱分布變化，為鎖相熱成像系統(tǒng)捕捉細(xì)微溫差提供熱源基礎(chǔ)。

鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵(lì)結(jié)合，為電子產(chǎn)業(yè)的傳感器芯片檢測(cè)提供了可靠保障，確保傳感器芯片能夠滿足各領(lǐng)域?qū)Ω呔葯z測(cè)的需求。傳感器芯片是獲取外界信息的關(guān)鍵部件，廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域，其精度和可靠性至關(guān)重要。傳感器芯片內(nèi)部的敏感元件、信號(hào)處理電路等若存在缺陷，如敏感元件的零點(diǎn)漂移、電路的噪聲過(guò)大等，會(huì)嚴(yán)重影響傳感器的檢測(cè)精度。通過(guò)對(duì)傳感器芯片施加電激勵(lì)，使其處于工作狀態(tài)，系統(tǒng)能夠檢測(cè)芯片表面的溫度變化，發(fā)現(xiàn)敏感區(qū)域的缺陷。例如，在檢測(cè)紅外溫度傳感器芯片時(shí)，系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因敏感元件材料不均導(dǎo)致的溫度檢測(cè)偏差；在檢測(cè)壓力傳感器芯片時(shí)，能夠識(shí)別出因應(yīng)變片粘貼不良導(dǎo)致的信號(hào)失真。通過(guò)篩選出無(wú)缺陷的傳感器芯片，提升了電子產(chǎn)業(yè)傳感器產(chǎn)品的質(zhì)量，滿足了各領(lǐng)域?qū)鞲衅鞯母呔刃枨蟆?/p>

在半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在，芯片集成度不斷提升，器件結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備往往難以兼顧微觀觀測(cè)與微弱信號(hào)捕捉，導(dǎo)致許多隱性缺陷成為 “漏網(wǎng)之魚(yú)”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實(shí)力，將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體，推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測(cè)設(shè)備（搭載自主研發(fā)的 RTTLIT （實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)），為半導(dǎo)體的失效分析提供了全新的技術(shù)范式。

鎖相熱成像系統(tǒng)的同步控制模塊需與電激勵(lì)源保持高度協(xié)同，極小的同步誤差都可能導(dǎo)致檢測(cè)圖像出現(xiàn)相位偏移。

致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb（銦銻）探測(cè)器，用于中波紅外波段（3–5 μm）的熱輻射信號(hào)捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲，在制冷條件下可實(shí)現(xiàn)高達(dá)nW級(jí)的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率，適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測(cè)器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應(yīng)用，提升了空間分辨率（可達(dá)微米量級(jí)）與溫度響應(yīng)線性度，使其能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點(diǎn)遷移和瞬態(tài)熱行為進(jìn)行精細(xì)刻畫(huà)。配合致晟光電自主開(kāi)發(fā)的高數(shù)值孔徑光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺(tái)，InSb探測(cè)器可在多物理場(chǎng)耦合背景下實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場(chǎng)成像，是先進(jìn)電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評(píng)價(jià)中的關(guān)鍵。電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)，電子檢測(cè)黃金組合。實(shí)時(shí)鎖相鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子

電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)，推動(dòng)無(wú)損檢測(cè)發(fā)展。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用戶體驗(yàn)

鎖相熱成像系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)是保證其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。系統(tǒng)的維護(hù)包括日常的清潔、部件的檢查和更換等。對(duì)于紅外熱像儀的鏡頭，需要定期用專門(mén)的清潔劑和鏡頭紙進(jìn)行清潔，避免灰塵和污漬影響成像質(zhì)量。鎖相放大器、激光器等關(guān)鍵部件要定期進(jìn)行性能檢查，確保其參數(shù)在正常范圍內(nèi)。如果發(fā)現(xiàn)部件出現(xiàn)老化或故障，要及時(shí)進(jìn)行更換，以避免影響系統(tǒng)的檢測(cè)精度。此外，系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)也需要定期維護(hù)，確保其能夠正常工作，防止因設(shè)備過(guò)熱而影響性能。做好維護(hù)保養(yǎng)工作，能夠延長(zhǎng)鎖相熱成像系統(tǒng)的使用壽命，降低設(shè)備故障的發(fā)生率，保證檢測(cè)工作的順利進(jìn)行。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用戶體驗(yàn)