1、激光劃片激光劃技術(shù)是生產(chǎn)集成電路的關(guān)鍵技術(shù),其劃線細(xì)、精度高(線寬為15-25μm,槽深5-200μm)、加工速度快(可達(dá)200mm/s),成品率達(dá) 99.5%以上。集成電路生產(chǎn)過程中,在一塊基片上要制備上千個(gè)電路,在封裝前要把它們分割成單個(gè)管芯。傳統(tǒng)的方法是用金剛石砂輪切割,硅片表面因受機(jī)械力而產(chǎn)生輻射狀裂紋。用激光劃線技術(shù)進(jìn)行劃片,把激光束聚焦在硅片表面,產(chǎn)生高溫使材料汽化而形成溝槽。通過調(diào)節(jié)脈沖重疊量可精確控制刻槽深度,使硅片很容易沿溝槽整齊斷開,也可進(jìn)行多次割劃而直接切開。激光加工是利用光的能量經(jīng)過透鏡聚焦后在焦點(diǎn)上達(dá)到很高的能量密度,靠光熱效應(yīng)來加工的。蘇州節(jié)能激光切割加工量大從優(yōu)
③激光加工過程中無“刀具”磨損,無“切削力”作用于工件。④可以對多種金屬、非金屬加工,特別是可以加工高硬度、高脆性及高熔點(diǎn)的材料。⑤激光束易于導(dǎo)向、聚焦實(shí)現(xiàn)作各方向變換,極易與數(shù)控系統(tǒng)配合、對復(fù)雜工件進(jìn)行加工,因此它是一種極為靈活的加工方法。⑥無接觸加工,對工件無直接沖擊,因此無機(jī)械變形,并且高能量激光束的能量及其移動(dòng)速度均可調(diào),因此可以實(shí)現(xiàn)多種加工的目的。⑦激光加工過程中,激光束能量密度高,加工速度快,并且是局部加工,對非激光照射部位沒有或影響極小,因此,其熱影響區(qū)小,工件熱變形小,后續(xù)加工量小。江蘇銷售激光切割加工現(xiàn)貨現(xiàn)代的激光成了人們所幻想追求的“削鐵如泥”的“寶劍”。
⑧激光束的發(fā)散角可<1毫弧,光斑直徑可小到微米量級,作用時(shí)間可以短到納秒和皮秒,同時(shí),大功率激光器的連續(xù)輸出功率又可達(dá)千瓦至10kW量級,因而激光既適于精密微細(xì)加工,又適于大型材料加工。激光束容易控制,易于與精密機(jī)械、精密測量技術(shù)和電子計(jì)算機(jī)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)加工的高度自動(dòng)化和達(dá)到很高的加工精度。激光加工技術(shù)已在眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,隨著激光加工技術(shù)、設(shè)備、工藝研究的不斷深進(jìn),將具有更廣闊的應(yīng)用遠(yuǎn)景。由于加工過程中輸入工件的熱量小,所以熱影響區(qū)和熱變形??;加工效率高,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。 [1]
激光加工設(shè)備行業(yè)的發(fā)展對促進(jìn)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步、推動(dòng)對傳統(tǒng)工業(yè)改造升級和加速**技術(shù)的現(xiàn)代化發(fā)揮了積極的作用。發(fā)展前景激光應(yīng)用于材料加工,被譽(yù)為制造技術(shù)的**。據(jù)中國光學(xué)會(huì)資料,中國激光加工產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,總產(chǎn)值已經(jīng)從1999年的1.6億元人民幣增加到2003年的12億元。但從整體實(shí)力上看,中國對高功率激光切割技術(shù)和成套設(shè)備的應(yīng)用還處于初級階段,美國投入使用的激光切割機(jī)有25000臺,而中國*有600余臺。華中科技大學(xué)激光研究**朱曉說:“沒有掌握**技術(shù),造成采購成本過高,是中國***激光器、激光成套設(shè)備市場長期被國外產(chǎn)品占領(lǐng)的主要原因。”他舉例說,如激光切割設(shè)備,雖然過去中國產(chǎn)的每臺售價(jià)才170萬元人民幣,遠(yuǎn)低于進(jìn)口貨70萬美元的價(jià)格,但切割性能不能滿足高水平加工的需要,因此中國激光切割設(shè)備大部分是進(jìn)口貨。我們通常使用此模式在木材、亞克粒、紙張等材料上進(jìn)行穿透切割,也可在多種材料表面進(jìn)行打標(biāo)操作。
激光切割激光切割技術(shù)廣泛應(yīng)用于金屬和非金屬材料的加工中,可**減少加工時(shí)間,降低加工成本,提高工件質(zhì)量。激光切割是應(yīng)用激光聚焦后產(chǎn)生的高功率密度能量來實(shí)現(xiàn)的。與傳統(tǒng)的板材加工方法相比,激光切割其具有高的切割質(zhì)量、高的切割速度、高的柔性(可隨意切割任意形狀)、***的材料適應(yīng)性等優(yōu)點(diǎn)。(1)激光熔化切割在激光熔化切割中,工件被局部熔化后借助氣流把熔化的材料噴射出去。因?yàn)椴牧系霓D(zhuǎn)移只發(fā)生在其液態(tài)情況下,所以該過程被稱作激光熔化切割。對于特定的雕刻速度,強(qiáng)度越大,切割或雕刻的深度就越大?;萆絽^(qū)便捷式激光切割加工廠家直銷
小光斑的透鏡用于高分辨率的雕刻。大光斑的透鏡用于較低分辨率的雕刻,但對于矢量切割,它是選擇。蘇州節(jié)能激光切割加工量大從優(yōu)
5.圓度變化在激光加工中加工孔切割面產(chǎn)生坡度是無法避免的,下面直徑比背面直徑大,一般都評估背面稍小一側(cè)的圓度。激光穿孔1、穿孔的難度在切割的開始部位加工開始加工所需要的孔稱做穿孔。板越厚,穿孔就越不穩(wěn)定??梢哉f,板厚大于12.0 mm的厚板切割中,發(fā)生加工不良現(xiàn)象的70%起因于穿孔不好。為了實(shí)施穩(wěn)定的穿孔,在這里對穿孔的加工特性進(jìn)行說明。2、穿孔的原理在穿孔過程中,貫通之前加工中產(chǎn)生的熔融金屬堆積在被加工物表面上孔的周圍。從發(fā)光后對被加工物表面加熱過程,到緩慢加熱進(jìn)行穿孔作用,直至***的貫通是連續(xù)進(jìn)行的。這個(gè)方法,如果板件厚度大于9.0mm,則穿孔時(shí)間就會(huì)急劇增加,但是孔徑約為0.5mm,比切口窄,熱影響也小。蘇州節(jié)能激光切割加工量大從優(yōu)
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