本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。 柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性、強(qiáng)耦合、實(shí)變等特點(diǎn)。湛江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先，它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓需要經(jīng)過多個(gè)工序的加工，如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等，每個(gè)工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行。機(jī)械吸臂能夠快速、準(zhǔn)確地將晶圓在各個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn)，減少了晶圓在生產(chǎn)線上的停留時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。如果吸臂的性能不穩(wěn)定或出現(xiàn)故障，將會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)線的停頓，嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度和產(chǎn)量。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的不斷發(fā)展和創(chuàng)新是推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的重要?jiǎng)恿χ弧Ｕ憬A運(yùn)送機(jī)械吸臂市場報(bào)價(jià)柔性機(jī)械臂不只是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng)。

對(duì)于晶圓狀態(tài)的檢測，主要包括晶圓的存在檢測、位置偏差檢測和表面質(zhì)量檢測等。通過光電傳感器或電容傳感器可以快速檢測晶圓是否正確放置在吸臂上，以及在搬運(yùn)過程中是否發(fā)生位移。表面質(zhì)量檢測傳感器則可以實(shí)時(shí)監(jiān)測晶圓表面是否有劃痕、顆粒污染等缺陷，一旦發(fā)現(xiàn)異常情況，及時(shí)發(fā)出警報(bào)并采取相應(yīng)措施，以保證晶圓的質(zhì)量不受影響?；谶@些豐富的傳感器數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)可以對(duì)機(jī)械吸臂進(jìn)行精確的控制?？刂葡到y(tǒng)采用先進(jìn)的算法和控制器，如PID控制算法、模糊控制算法等，根據(jù)傳感器反饋的信息實(shí)時(shí)調(diào)整吸臂的運(yùn)動(dòng)速度、加速度和力量，確保晶圓在搬運(yùn)過程中的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性。同時(shí)，控制系統(tǒng)還具備與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備的通信接口，能夠?qū)崿F(xiàn)協(xié)同工作和自動(dòng)化生產(chǎn)流程的無縫對(duì)接。例如，在晶圓送入光刻機(jī)進(jìn)行曝光工藝時(shí)，機(jī)械吸臂可以與光刻機(jī)的控制系統(tǒng)進(jìn)行通信，按照預(yù)定的程序和時(shí)間節(jié)點(diǎn)將晶圓準(zhǔn)確地放置在光刻機(jī)的工作臺(tái)上，并在曝光完成后將晶圓安全取出，整個(gè)過程高度自動(dòng)化且精確無誤。

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用***。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。設(shè)備具有低能耗、低噪音的特點(diǎn)，符合環(huán)保要求。浙江晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場報(bào)價(jià)

對(duì)于粉塵作業(yè)的機(jī)械手還要添裝防塵設(shè)施。湛江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 湛江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

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