提到硅光芯片耦合測試系統(tǒng),我們來認識一下硅光子集。硅光子集成的工藝開發(fā)路線和目標比較明確,困難之處在于如何做到與CMOS工藝的較大限度的兼容,從而充分利用先進的半導體設備和工藝,同時需要關注個別工藝的特殊控制。硅光子芯片的設計目前還未形成有效的系統(tǒng)性的方法,設計流程沒有固化,輔助設計工具不完善,但基于PDK標準器件庫的設計方法正在逐步形成。如何進行多層次光電聯合仿真,如何與集成電路設計一樣基于可重復IP進行復雜芯片的快速設計等問題是硅光子芯片從小規(guī)模設計走向大規(guī)模集成應用的關鍵。硅光芯片耦合測試系統(tǒng)硅光芯片的好處:處理的應用領域廣。上海單模硅光芯片耦合測試系統(tǒng)多少錢
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)中應用到的硅光芯片是將硅光材料和器件通過特殊工藝制造的集成電路,主要由光源、調制器、探測器、無源波導器件等組成,將多種光器件集成在同一硅基襯底上。硅光芯片的具有集成度高、成本低、傳輸帶寬更高等特點,因為硅光芯片以硅作為集成芯片的襯底,所以能集成更多的光器件;在光模塊里面,光芯片的成本非常高,但隨著大規(guī)模生產的實現,硅光芯片的低成本成了巨大優(yōu)勢;硅光芯片的傳輸性能好,因為硅光材料折射率差更大,可以實現高密度的波導和同等面積下更高的傳輸帶寬。上海單模硅光芯片耦合測試系統(tǒng)多少錢硅光芯片耦合測試系統(tǒng)組件裝夾完成后,通過校正X,Y和Z方向的偏差來進行的初始光功率耦合。
實驗中我們經常使用硅光芯片耦合測試系統(tǒng)獲得了超過50%的耦合效率測試以及低于-20dB的偏振串擾。我們還對一個基于硅條形波導的超小型偏振旋轉器進行了理論分析,該器件能夠實現100%的偏轉轉化效率,并擁有較大的制造容差。在這里,我們還對利用側向外延生長硅光芯片耦合測試系統(tǒng)技術實現Ⅲ-Ⅴ材料與硅材料混集成的可行性進行了初步分析,并優(yōu)化了諸如氫化物氣相外延,化學物理拋光等關鍵工藝。在該方案中,二氧化硅掩膜被用來阻止InP種子層中的線位錯在外延生長中的傳播。初步實驗結果和理論分析證明該集成平臺對于實現InP和硅材料的混合集成具有比較大的吸引力。
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的激光器與硅光芯片耦合結構及其封裝結構和封裝方法,發(fā)散的高斯光束從激光器芯片出射,經過耦合透鏡進行聚焦;聚焦過程中光路經過隔離器進入反射棱鏡,經過反射棱鏡的發(fā)射,光路發(fā)生彎折并以一定的角度入射到硅光芯片的光柵耦合器上面,耦合進硅光芯片。本發(fā)明所提供的激光器與硅光芯片耦合結構,其無需使用超高精度的耦合對準設備,耦合過程易于實現,耦合效率更高,且研發(fā)成本較低;激光器與硅光芯片耦合封裝結構及其封裝方法,采用傳統(tǒng)TO工藝封裝光源,氣密性封裝,與現有技術相比,具有比較強的可生產性,比較高的可靠性,更低的成本,更高的耦合效率,適用于400G硅光大功率光源應用。硅光芯片耦合測試系統(tǒng)硅光芯片的好處:可嵌入性。
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)主要工作可以分為四個部分(1)從波導理論出發(fā),分析了條形波導以及脊型波導的波導模式特性,分析了硅光芯片的良好束光特性。(2)針對倒錐型耦合結構,分析在耦合過程中,耦合結構的尺寸對插入損耗,耦合容差的影響,優(yōu)化耦合結構并開發(fā)出行之有效的耦合工藝。(3)理論分析了硅光芯片調制器的載流子色散效應,分析了調制器的基本結構MZI干涉結構,并從光學結構和電學結構兩方面對光調制器進行理論分析與介紹。(4)利用開發(fā)出的耦合封裝工藝,對硅光芯片調制器進行耦合封裝并進行性能測試。分析并聯MZI型硅光芯片調制器的調制特性,針對調制過程,建立數學模型,從數學的角度出發(fā),總結出調制器的直流偏置電壓的快速測試方法。并通過調制器眼圖分析調制器中存在的問題,為后續(xù)研發(fā)提供改進方向。硅光芯片耦合測試系統(tǒng)硅光芯片的好處:片內具有快速RAM,通??赏ㄟ^單獨的數據總線在兩塊中同時訪問。上海單模硅光芯片耦合測試系統(tǒng)多少錢
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)優(yōu)點:給企業(yè)帶來方便性。上海單模硅光芯片耦合測試系統(tǒng)多少錢
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系統(tǒng)的服務器為完成設備控制及自動測試應包含有自動化硅光芯片耦合測試系統(tǒng)服務端程序,用于根據測試站請求信息分配測試設備,并自動切換光矩陣進行自動測試。服務器連接N個測試站、測試設備、光矩陣。其中N個測試站連接由于非占用式特性采用網口連接方式;測試設備包括可調激光器、偏振控制器和多通道光功率計,物理連接采用GPIB接口、串口或者USB接口;光矩陣連接采取串口。自動化硅光芯片耦合測試系統(tǒng)服務端程序包含三個功能模塊:多工位搶占式通信、設備自動測試、測試指標運算;設備自動測試過程又包含如下三類:偏振態(tài)校準、存光及指標測試。上海單模硅光芯片耦合測試系統(tǒng)多少錢